Wegweisende Forschung für die Chipindustrie – Werner-von-Siemens-Ring 2024 geht an Forscherteam um Dr. Peter Kürz (ZEISS) und Dr. Michael Kösters (TRUMPF) für die High-NA-EUV-Lithographie


Eingebunden lt. EuGH – Beschluss vom 21.10.2014 – Az. C-348/13